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○ 適用范圍
1.半導體制造業
2.真空鍍膜設備
3.特殊材料表面處理
4.燃氣控制
5.泄漏檢測系統
6.環境檢測分析設備
7.化學，石化，冶金，光纖等
○ 產品特點
1.選擇多種氣體方式
2.304不銹鋼管芯，耐腐蝕
3.不銹鋼雙卡快速接頭，連接方便，無泄漏
○ 技術參數
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功能 |
三路質量流量計 |
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質子流量控制器 |
工作溫度：5~45 oC |
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輸入電源 |
AC 220V/50Hz單相 |
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功率 |
150W |
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機械壓力表 |
有一機械壓力表安裝于前面板上，與混氣罐相連接 量程:-0.1~0.15 MPa (0.01 MPa/grid) |
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針閥 |
316 不銹鋼 |
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通氣管道 |
內部連接管道為1/4”不銹鋼管 外部通氣管道為1/4”聚四氟管 |
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混氣罐 |
Φ80X120mm |
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截止閥及配件 |
316不銹鋼針閥 Φ1/4” 不銹鋼管 |
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外形尺寸 |
600mm(L) x 745mm(W) x 700mm(H) |
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質量認證 |
CE認證 |
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質保期 |
一年質保期，終身維護 |
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